[2020.06.18] '脫일본' 나선 화학업계…소재 독립 '결실'

작성일
2020-06-22 09:57
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일본의 수출규제를 계기로 국내 기업들의 소재·부품·장비 분야에서 '탈일본'도 빠르게 진행 중이다. 특히 이른바 소부장 국산화 움직임에 화학업계가 발빠르게 대응하고 있다. 이를 계기로 반도체 등 다른 분야에서도 탈일본에 속도가 붙을 것으로 보인다.

18일 SK그룹에 따르면 SK머티리얼즈가 최근 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다. 초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조에 쓰이는 세정 가스로, 반도체 공정 미세화로 수요가 급증하고 있지만 해외 의존도가 100%에 달하는 제품이다.

SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 후, 경북 영주 공장 내 15톤 규모의 생산시설을 건설하는 등 국산화 작업을 진행해왔다. 이번 양산을 통해 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 목표다.

불화수소와 함께 고부가 포토레지스트 영역에서도 국산화 작업이 본격화해, SK머티리얼즈는 최근 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나섰다.

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